技术指标：

尺寸：1500*1000*2350mm、900*1000*2350mm；

1、整体采用PP板材，主体板材厚度7.5mm，台面15mm；

2、一体式设计：含顶板、排风法兰、上排风罩、后排风道、操作腔体、下柜结构；

3、配PFA水枪、PFA水龙头及内部管路；

4、配PFA气枪及减压阀和内部管路；

5、置物架，冲孔台面；

6、柜体下侧安装4个福马轮及承漏盘；

7、台面布局可根据甲方要求定制（水槽位置等）；

8、顶部设计FFU+U16过滤器，整体洁净度Class100；

   放置到Class100无尘室使用可以达到Class10；

二次配需求:

1、水：在不超过设备定位处1m预留UPW纯水点位，尺寸3/8英寸内丝，压力5kg

2、电：在不超过设备定位处1m预留220V单相三线电源，功率4KW（预留16A插头即可）

2、气：N2，1/4英寸不锈钢卡套连接，压力不低于 2.0Mpa，位置不超过定位处1m

3、排风250mm不锈钢法兰一根，风量1500m³/H位置（设备上方）